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高純氫是指純度達到 99.999%的氫氣。主要應用于氣體燃料，石油精煉，制造油脂、硬化油等人造奶油，甲醇、鹽酸、氨等的合成，焊接和金屬的切割，氣象觀測，玻璃的融化，冶金工業，冷卻劑(液氫)，半導體制造用平衡氣、蝕刻氣、標準氣、零點氣、校正氣、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。
